适用于半导体生产设备的GORE®抗静电高柔性电缆
经验证,戈尔新一代电缆技术能够防止静电积聚,减少颗粒吸附,从而提高半导体和FPD设备的可靠性与产能。我们的抗静电高柔性电缆开创了业界先河,适用于易受ESD影响的环境,无需额外设备或复杂的接地系统。
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产品概览
减少ESD相关的故障与产品损坏风险
半导体和平板显示器(FPD)设备的设计和生产技术不断发展,促使半导体行业向更高密度设计的方向迈进。然而,这些设计也使得FPD和集成电路(IC)更容易受到静电积聚的危害。随着时间的推移,积聚的静电电压会吸附洁净室移动电缆系统外表面上的颗粒物,进而导致不受控制的粉尘及良率降低。
戈尔®(GORE®)抗静电高柔性电缆的复合护套材料采用经过非碳基耗散处理的膨体聚四氟乙烯(ePTFE),该材料专为静电放电(ESD)环境而设计。
我们的两款电缆均有助于防止摩擦电荷及电压积聚,能够更有效地防止ESD事件发生,通过减少颗粒吸附来防止表面电荷积聚,以及不受控制的粉尘,并消除潜在的放电现象。
我们的无拖链电缆由容纳独立线芯的扁平护套和提供自支撑往复运动的加强构件组成。我们的扁平电缆是集成贴覆独立线芯的构造,实现更轻、柔性更好的电缆解决方案。
戈尔的独特电缆技术属业内首创,无需任何额外的安装工作,即可用于易受ESD影响的环境,亦无需复杂的接地系统或额外设备即可发挥出色性能。同时,也无需使用离子棒,从而可节省高昂的校准和维护成本。
戈尔抗静电高柔性电缆可减少ESD相关的故障与产品损坏,从而提升高柔性机械设备的可靠性和产能。此外,这些电缆完全兼容我们的标准无拖链和扁平电缆,可轻松进行改装。
应用
经验证,戈尔抗静电高柔性电缆可减少ESD相关事件,适用于各种半导体生产设备,包括:
- 电子元器件封装设备
- 先进键合设备
- 贴装设备
- 后道制造和检测流程
- 镜头制造设备
- ESD敏感的制造设备
- FPD制造设备
想要在易受ESD影响的环境中使用高柔性设备,且满足严苛的电缆规格要求?立即联系我们,探讨我们能够如何满足这些要求,以及我们的产品将如何提供帮助。
特性和优势
我们为戈尔抗静电高柔性电缆设计了独特的特性,使其在需要高洁净度且易受ESD影响的环境中更加耐用,包括:
- 非碳基静电耗散护套材料
- 不会产生脱落颗粒的低摩擦力材料
- 耐极端温度的材料
- 耐化学腐蚀的材料
我们的电缆久经考验、十分可靠,可为制造商提供诸多优势,从而改进半导体和FPD设备的性能,比如:
- 防止表面电荷积聚,消除不受控制的粉尘
- 减少ESD相关的故障与产品损坏风险
- 可单独用于易受ESD影响的环境,开创业界先河
- 无需复杂的接地系统或额外设备
- 避免使用离子棒,可节省高昂的校准和维护成本
- 提高可靠性和产能,减少维护次数,降低总拥有成本
- 符合ISO 1级洁净室环境认证要求
- 兼容标准无拖链和扁平电缆,易于改装
技术规格
以下数值证明了适用于半导体生产设备的戈尔抗静电高柔性电缆在ESD敏感环境中的电气、机械和环境性能。
电气/机械/环境特性 | 数值 | |
---|---|---|
无拖链电缆 | 扁平电缆 | |
最大加速度 g (m/sec2) | 4.0 (40) | 4.0 (40) |
速度 m/sec | 4.0 | 4.0 |
表面电阻(Ohm)(ASTM-D257,45% rH,23°C) | </= 2 x 109 | </= 2 x 109 |
典型电荷衰减a(msec)(DIN-EN 1149-5; 2008-04,45% rH,23°C) | ≤ 4 | ≤ 4 |
电压积聚a(V)(PLFWI-2730, 弯折1000次时) | << 100 | << 100 |
工作相对湿度 rH % | 45 + 15 | 45 + 15 |
护套材料b | 经过非碳基耗散处理的膨体聚四氟乙烯复合材料 | 经过非碳基耗散处理的膨体聚四氟乙烯复合材料 |
护套颜色 | 白色 | 白色 |
线芯类型 | 信号、电源、光纤、气动导管 | 信号、电源、光纤、气动导管 |
最大自支撑距离c mm (in) | 1500 (60) | 500 (20) |
总宽度d mm (in) | 最宽可达 105 (4.1) | 最宽可达 300 (12) |
最小弯曲半径d mm (in) | 50 (2) | 50 (2) |
弯折寿命(次数)(弯曲半径50 mm,加速度高达4G) | > 10 万次 | > 20 万次 |
温度范围(°C) | -40 to +80 | -40 to +80 |
洁净度等级e(通过ISO 14644-1认证,弯折100万次时) | 1 | 1 |
粉尘f %(通过ISO14644-1 / VDI 2083指南) | < 0.1 | < 0.1 |
a. 测试结果在不同条件下可能会略有差异。如需要可提供测试方法详情。
b. 有关戈尔的专利详情,请访问patents.justia.com/patent/9534159.
c. 需要托板。
d. 仅限标准配置。MBR可能因具体配置而异。
e. 基于抗静电无拖链电缆,GKT-FTFH-01-A,序列号14111802。如需要可提供认证报告。
f. 如需了解弗劳恩霍夫研究所的研究详情,请访问gore.com/particulation.
如何定制或购买
相关资料

数据表:适用于洁净室应用的GORE® 抗静电无拖链电缆
数据表格, 274.26 KB

Tech Note: Understanding Cable Stress and Failure in High Flex Applications
Technical Information

White Paper: Cable Particulation Study for Cleanroom Environments
White Papers, 144.55 KB
仅用于工业用途
不可用于食品、药品、化妆品或医疗设备等的制造、加工或包装作业
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